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第166章 万能芯片（第2页）

大首长此时欣喜地看着周晓东说道：“你们这种开发板能够提供给国内的高校和科研院所使用吗？”

“当然是可以的。”

周晓东笑着说道。

大首长点点头。

他虽然没有明说要推广周晓东他们开发出来的开发板产品，不过显然是动了这个念头。

“说说你在半导体设备上面的想法吧。”

大首长笑吟吟地看着周晓东说道。

“首长，这方面我有一个非常好的消息向您汇报。”

“你说。”

“通过上上下下的努力，掌握世界最顶尖的刻蚀设备技术的罗志平先生带着一支技术团队已经回国了，目前正在紧锣密鼓地和我们一起研制刻蚀设备和薄膜沉积设备，相信不出三年的时间我们能够在这两种工艺技术设备上取得非常大的突破。”

周晓东开口说道：“另外我们自己目前研制的沉浸式光刻机样品已经开始在实验生产线进行试用和测试，目前进展比较顺利，按照我们制定的计划目标，到后年的时间我们这种我们独有的光刻机设备可以开始在晶圆生产线开始使用。”

“你们连光刻机设备都研制出来了？”

大首长惊喜地问道。

“严格地说，是我们在光刻机设备的工件台这种关键部件系统上取得了突破，通过我们的试用测试，我们研制的工件台部件系统运动精度平均偏差控制在了四点五纳米，运动标准偏差做到了七纳米，按照这个技术指标来算的话，我们工件台系统可以满足六十五纳米制程工艺的光刻机设备需求。”

周晓东此时向大首长汇报道。

“六十五纳米？”

大首长此时瞪大了眼睛。

“是的，这是我们在实验生产线里面通过使用测试得到的数据，不过我们还在进行工件台装置的耐久可靠性方面的测试，这个测试过程差不多需要一年多，为的就是暴露出工件台各个子系统在长时间使用中潜在的故障，制定这方面的可靠性测试大纲，然后我们再进行从材料到子系统部件设计到工艺技术方面的改进优化，保证我们推出来的工件台装置可靠耐用。”

周晓东开口说道：“光刻机设备需要的镜头组系统我下面的玄思科技公司有在进行这方面的技术研发，主要是在研发磁流变抛光技术以及加工光学镜头的高精密检测设备，目前还只是处于技术验证测试阶段，样机还没有拿出来。”

“磁流变抛光技术？”

大首长眼中露出疑惑的神情。

“这种磁流变抛光技术设备是由苏修发明的，研究这种超高精度抛光光学玻璃技术目前做得最好的是米国那家QED公司，目前已经推出了商用化的磁流变抛光设备，这主要是因为米国在苏修解体的时候将这个技术研发团队整个给挖到米国去了。”

“根据我们得到的各种资料显示米国这家公司研制的这种抛光设备加工精度最高可以达到零点纳米，可以加工出极为光滑平整的光学镜头镜面，米国国内自己加工光刻机镜片的公司就用了这种设备。”

周晓东说道：“另外欧洲方面进行这种超高精度抛光设备技术研发的主要是德意志的这家蔡司公司，他们也掌握了这种技术设备，可以加工出超高精度的光学镜片。”

“这种超高精度的抛光设备米国这些国家是绝不会卖给我们的，现在我们只能是根据国外的这些文献资料和一些论文来自己进行这方面的技术研究工作，目前我们是不断地实验寻找这种磁流变**配方材料。”

“目前我们国内还没有进行这方面的技术研究，我是希望中央方面能够让国内的科研院所尽早启动这方面新型相变材料和加工设备方面的技术研发工作，如果研发顺利的话，十年之内我们国内在这种超高精度抛光设备和配套的材料产业链能够形成。”

周晓东开口说道：“能够把这种技术设备和材料配方研制出来，不仅仅只是用来加工出光刻机设备需要的镜片来，还能够加工制备出众多高端光学设备需要的各种镜片，一通百通，到时候我们国内的光学技术产业能够迈上一个非常高的台阶。”

“嗯，你这个建议是非常好的。”

大首长点头道。

“目前我们公司采用的化学抛光技术工艺和设备只能把光学器件做到加工精度在几十纳米的样子，要想把加工精度做得更高的话只能上磁流变抛光技术设备了，这方面只能是国内的众多技术研发团队一起努力来完成了。”

周晓东说道。

“目前我们研制的光刻机设备在光源系统和镜头组方面可以自己设计，然后从国外定制，目前能够采购定制的光源系统是氟化氪光源系统，我们想买氟化氩激光光源系统人家不卖给我们，不过氟化氪激光光源和我们研发的这种浸没式镜头组以及工件台配合将制程工艺继续往前推进。”